電感耦合等離子體（ICP）是由高頻電流經感應線圈產生高頻電磁場，使工作氣體形成等離子體，并呈現火焰狀放電（等離子體焰炬），達到10000K的高溫，是一個具有良好的蒸發－原子化－激發－電離性能的光譜光源。由于等離子這種體焰炬呈環狀結構，有利于從等離子體中心通道進樣并維持火焰的穩定；較低的載氣流速（低于1L/min）便可穿透ICP，使樣品在中心通道停留時間達2～3ms，可*蒸發、原子化；電感耦合等離子體（ICP）環狀結構的中心通道的高溫，高于任何火焰或電弧火花的溫度，是原子、離子的*激發溫度，分析物在中心通道內被間接加熱，對ICP放電性質影響小；ICP光源又是一種光薄的光源，自吸現象小，且系無電極放電，無電極沾污。這些特點使ICP光源具有優異的分析性能，符合一個理想分析方法光源的要求。